광발증권은 반도체 전공정 수율과 공정 안정성을 확보하는 핵심 계측 장비인 ‘CD-SEM(주사전자현미경 측정 장비)’ 시장에서 국산화 대체 작업이 가속화되고 있다고 평가했다.
집적회로 제조공정은 수백 개의 단계를 거치며, 각 공정마다 발생할 수 있는 결함을 감지하고 미세 수치를 양적 평가하기 위해 계측·검사 장비가 필수적으로 투입된다.
선단 공정 계측 기술은 크게 광학 방식과 전자빔(E-beam) 방식으로 나뉜다.
광학 기술은 측정 속도가 빨라 현재 시장의 주류를 형성하고 있으며, 전자빔 기술은 초고밀도 분해능을 바탕으로 고밀도 미세 패턴 측정에 강점을 가진다.
전자빔 계측 장비 중에서도 CD-SEM은 노광 및 식각 공정 후의 선폭, 간격, 구멍 크기 등 미세 패턴을 실시간으로 측정한 수치를 피드백하는 핵심 장비다.
특히 반도체 제조 공정이 7나노미터 이하 첨단 미세 공정 및 EUV(극자외선) 공정으로 진화함에 따라 기존 광학 계측의 한계를 극복할 수 있는 CD-SEM의 중요성이 한층 증대됐다.
시장조사기관 LP인포메이션에 따르면 글로벌 CD-SEM 시장 규모는 2025년 약 8억 5,800만 달러에서 연평균 8.5% 성장해 2032년에는 14억 9,500만 달러 규모에 달할 것으로 전망된다.
[글로벌 CD-SEM 시장 규모 전망]
| 구분 | 2025년 | 2032년(예상) | 연평균 성장률(CAGR) |
| 시장 규모 | 8억 5,800만 달러 | 14억 9,500만 달러 | +8.5% |
현재 글로벌 CD-SEM 시장은 히타치 하이테크, 어플라이드 머티어리얼즈 등 해외 주요 기업들이 주도하고 있다.
그러나 중국 내 반도체 공급망 자립화 기조와 주요 파운드리·메모리 업체의 양산 라인 확대에 힘입어 국산화율이 빠르게 상승하고 있다.
동방정원(비상장) 등 일부 국내 장비사들은 12인치 웨이퍼용 CD-SEM의 양산 라인 검증 및 대량 도입 단계에 진입하며 글로벌 표준 수준의 성능을 입증하고 있다.
이처럼 반도체 제조 산업의 고도화와 함께 CD-SEM의 전략적 가치가 커짐에 따라, 완제품 장비 제조사뿐만 아니라 고성능 광학·전자 모듈 등 상위 핵심 부품 공급망 전반의 기업가치 재평가가 이어질 것으로 예상된다.
관심주 : 중커페이처테크(688361.SH), 동방정원(비상장), 장광천신(비상장) 등
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